通常由滅菌室、真空系統(tǒng)、過氧化氫注入系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成,還可以配置等離子體發(fā)生裝置。工作原理是通過汽化的過氧化氫對滅菌室內(nèi)物品進(jìn)行作用,使微生物蛋白質(zhì)和遺傳物質(zhì)變性從而導(dǎo)致微生物死亡,以達(dá)到滅菌的目的。若配置有等離子體發(fā)生器,可通過等離子體發(fā)生器使汽化的過氧化氫形成過氧化氫等離子態(tài),結(jié)合過氧化氫氣體及過氧化氫等離子體對滅菌室內(nèi)物品進(jìn)行低溫滅菌。